مضخة فراغ معلمات الأداء المشترك

1. معدل الضخ (معدل تدفق الصوت) (s الوحدة: m3 · دقيقة -1 ، m3 · s-1 ، L · s-1)

نسبة تدفق الغاز الذي يتدفق عبر غطاء الاختبار إلى ضغط التوازن المقاس في مكان محدد على غطاء الاختبار عندما يتم تزويد المضخة بغطاء اختبار قياسي وتشغيله على النحو المحدد. يشار إليها باسم سرعة الضخ للمضخة. أي حجم الغاز الذي تستمده المضخة الفراغية من الحاوية التي يتم ضخها في كل وحدة زمنية تحت ضغط ودرجة حرارة معينة.

2. في نهاية المطاف الضغط (فراغ شديد) (وحدة: باسكال / MPa / مم زئبق)

تم تجهيز المضخة بغطاء اختبار قياسي وتعمل في ظل ظروف محددة بضغط ثابت أدنى بدون إدخال الغاز. وهذا هو ، أدنى ضغط مستقر يمكن تحقيقه بعد أن يتم ضخ نهاية مدخل مضخة الشفط بالكامل.

3. بدء الضغط

ضخ دون ضرر ، بدء وضخ الضغط

4. مرحلة ما قبل الضغط

ضغط مخرج مضخة التفريغ مع ضغط تفريغ أقل من ضغط جوي واحد.

5. أقصى ضغط foreline

تجاوز ضغط ما قبل المرحلة التي يمكن أن تلحق الضرر بالمضخة.

6. أقصى ضغط العمل

ضغط مدخل يتوافق مع الحد الأقصى لكمية الضخ. تحت هذا الضغط ، يمكن للمضخة العمل بشكل مستمر دون تدهور أو تلف.

7. قدرة الضخ (وحدة Q: Pa · m3 · S-1 ؛ Pa · L · S-1)

تدفق الغاز من خلال مدخل المضخة.

8. نسبة الضغط

نسبة ضغط مخرج المضخة إلى غاز معين إلى ضغط المدخل.